半導體行業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則
wenfeng丨2年前丨行業新聞丨854丨
無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細jun等污染物排除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。潔凈室的發展與現代工業、高技術密切聯系在一起。由于精密機械工業（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業（如大規模集成電路生產）等對環境的要求，促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過，在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準，都規定了有關的潔凈度等級，我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》（GBJ73-84），1996年該規......閱讀全文
發布者：愛的渴望不可及
